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在对IC封装的质量抽查中,X射线检测设备通常用于检测键合线、芯片键合、成型和密封等典型缺陷多发地带。然而,小型化、新型材料的使用和芯片复杂性的增加,使X射线检测面临挑战。
小型化:内部结构的密度更高,尺寸更小,例如微孔和倒装芯片互连,要求在最高放大倍数下达到亚微米范围的分辨率,如新型纳米焦点。
新型材料的使用:非导电芯片粘合剂或铜键合线的普通X射线成像效果不好(高吸收材质:铜、钢、锡合金等)
芯片复杂性:例如堆叠,导致二维X射线图像令人困惑。IC封装中,内部键是倒装芯片焊点,其特征和缺陷类似于电子组装中已知的区域阵列焊点。需要适当的图像分辨率来检测微米范围内的空隙和形状偏差等缺陷。
要解决这些新问题,采用纳米焦点X射线和高分辨率的CT是IC封装检测的未来趋势。